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產(chǎn)品型號(hào)
HR90型 -
廠(chǎng)商性質(zhì)
經(jīng)銷(xiāo)商 -
更新時(shí)間
2025-06-07 -
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產(chǎn)品描述
日本進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科HR60多級(jí)羅茨型干泵 通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。